在IEEE-STD-1293-1998中，给出了一个描述典型MEMS加速计误差行为的广泛建模方案。而如下的方程则给出了描述许多常见误差的简单关系：

　　传感器信号调节电路将包括几个影响该方程的几个元器件。下面列出了这些器件的部分常见误差源：

　　1. NENS加速计

　　2. 放大器

　　3. 无源元件

　　4. A/D

　　每个器件都将对灵敏度(增益)，偏置(偏差)，线性度，噪声，依赖于电源的行为特性以及依赖于温度的特性有所贡献。这里所讨论的校准将集中在传感器上。不过图示准则也适用于其他电路。

　　由于要求综合误差小于1%，我们可以快速回顾一下商用的MEMS传感器的指标。例如，一款领先加速计应具有如下指标：

　　灵敏度：+950mV/g到+1050mV/g，等同于5%

　　偏移：30mg(典型值)，相当于3%(1g系统)

　　　　100mg(最大值)，相当于10%(1g系统)

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